一般社団法人 日本電気計測器工業会|JEMIMA
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3. 圧電アクチュエータ
圧電アクチュエータは、セラミックスに電圧をかけることで生じる微少ひずみを利用して、1μm以下の微少な変位を発生ができる。このため、精密な位置決めに用いられている。