3.湿度センサ

湿度の測定法を大別すると、湿度を絶対量で測る絶対湿度測定法と、相対量として測る相対湿度測定法の2つに分けられ、一般・工業測定では相対湿度法が広く利用されている。
相対湿度の測定方法は原理から分類すると、感湿素子が吸湿・脱湿にともない性質が変化することを利用したもので、吸脱湿により素子が伸縮することを利用した毛髪湿度計や、吸湿性物質として塩化リウチム・セラミックス・高分子などを使用し、水蒸気量の変化を電気抵抗や電気容量など電気的な変化として測定する湿度計が広く工業用として使用されている。また、感湿素子として温度計を用い、温度を測定する(乾球)ほか、もう一方の温度計の感温部にガーゼなどを巻きつけその先を蒸留水に浸し(湿球)たもので、湿球はガーゼから水が蒸発して気化熱が奪われ温度が下がる。この乾球と湿球の温度差から相対湿度を測定する方法があり、ガラス製温度計または抵抗温度計を用いた乾湿(球)湿度計が広く使用されている。
その他にも、高温域での湿度測定に安定化ジルコニアを利用した限界電流方式の湿度計など各種の方法があり、それぞれ用途により使い分けられている。

湿度センサ・湿度計の分類

(1) 乾湿温度計
(2) 毛髪湿度計
(3) 塩化リウチム・セラミックス・高分子湿度計
(4) ジルコニア湿度計