12.熱式質量流量計


 熱式の流量計は主として気体の質量流量(g/min)を直接測定する流量計である.気体が流れるパイプに一定熱量を供給するヒータを巻いてあり,気体が流れていない時,t1とt2が同じ温度になるように調整する.気体が流れるとこのt部の温度は,流れる気体に奪われて下がる.逆にt2部は温度が上がる.図1.2.12に測定原理を示す.
 このt1,t2の温度差が,流れる気体の質量流量に比例することを利用した流量計である.熱式は主に微小流量計測用として使用されている.用途としては半導体製造工程における各種ガスの計測制御や,サンプリング,混合,希釈などに用いられる.また近年液体用や防爆用も売り出されている.

図1.2.12 熱式質量流量計の測定原理図